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TORAY/東麗直插式氧氣濃度計玉崎供應

TORAY/東麗直插式氧氣濃度計玉崎供應 MS-500
●最多可同時測量 8 個點
●可顯示從 ppm 級到 100% 的多種濃度。
●安裝在半導體制造設備、真空設備等上。
●直插式傳感器（真空NW法蘭16/25/40）
●高耐用傳感器采用特殊涂層，進一步提高耐用性

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TORAY/東麗直插式氧氣濃度計玉崎供應 MS-500

●最多可同時測量 8 個點

●可顯示從 ppm 級到 100% 的多種濃度。

●安裝在半導體制造設備、真空設備等上。

●直插式傳感器（真空NW法蘭16/25/40）

●高耐用傳感器采用特殊涂層，進一步提高耐用性

測定原理			氧化鋯濃差電池類型
形狀			分體式（傳感器：壁掛式、傳感器：直插式）
表示方式			數字4位顯示（濃度顯示）
測量范圍			0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O 2　10 -20 ~10 -0 atm 自動量程
繰返性			±0.5%FS 0-1% 量程或更高，以及 ±1%FS 或 ±0.1ppm（以較大者為準）小于 0-1% 量程 0-1ppm，ATM 量程超出保證濃度范圍
測定點數			1～8
樣氣條件	壓力		10 -3 ~200KPa（絕壓）
	流量		0.5至5,000mL/min或0mL/min（自然擴散狀態的測量）
	濕度		露點低于環境溫度
	溫度		0～100℃
	其他的		不含腐蝕性氣體（氟氣、氯氣、硫化物氣體等）、含有機硅的氣體、可燃性成分（包括瓦斯）、油類、水分。
比較氣體			氣氛
錄音機輸出			僅傳輸輸出
變速輸出			RS-232C
警報出力			沒有任何
熱身時間			6分以內
尺寸	MS-500（控制器）		92（寬）×44（高）×120（深）（不含突出部分）
	MS-510(変換機)		100（寬）×40（高）×88（深）（不含突出部分）
	傳感器單元	SD16NW	總長100mm（傳感部分Φ11×39、本體部分Φ40×51）
		SD25NW	總長100mm（傳感部分Φ11×42、本體部分Φ40×48）
		SD40NW	總長100mm（傳感部分Φ11×41、本體部分Φ40×49）
質量	MS-500（控制器）		約0.6Kg
	MS-510(変換器)		約0.5kｇ
	傳感器單元	SD16NW	約0.2Kg
		SD25NW	約0.2Kg
		SD40NW	約0.35Kg
外部連接			任一真空法蘭（NW16、25、40）
使用電源			24VDC±10%